半导体洁净厂房环境物联网监控系统

晶圆制造与封装对环境极其敏感：尘埃粒子、温湿度与压差的微小波动，都可能造成晶圆微粒污染、光刻偏差甚至整批报废，一次环境事故的损失以百万计。

因此洁净厂房对环境监测要求是 7×24 不间断、数据全程留痕、超标即时处置。传统人工巡检既做不到连续，也无法在超标瞬间联动净化空调及时纠偏，更难满足客户审厂对全周期环境数据可追溯的要求。

翼微智控与翼微云物联网平台（SaaS）面向这一场景，由翼微智控承担洁净环境多点不间断采集与净化联锁，翼微云承担监测看板、告警与全周期数据留档。

• 温湿度采集：对洁净区多点温湿度不间断采集，实时掌握环境基线。
• 压差监测：监测洁净区与相邻区域、不同级别车间之间的压差梯度，维持正压防污染倒灌。
• 洁净度与尘埃粒子：在线监测洁净度等级与尘埃粒子计数，粒子浓度异常及时预警。
• 气体纯度采集：监测工艺气体、压缩空气等纯度参数，保障供气质量。
• 闭环控制与留档：环境超标自动联锁空调净化系统，全过程数据留存供品控追溯。

• 晶圆对微粒温湿极度敏感：微量尘埃或温湿漂移都可能影响良率，环境容差极小。
• 环境超标整批报废：一旦环境失控，在制品整批报废，损失惨重且难以挽回。
• 人工巡检无法连续：定时巡检存在盲区，超标发生到被发现之间已有产品暴露风险。
• 品控追溯缺数据：审厂与质量追溯需要完整连续的环境记录，人工抄表数据断续、可信度不足。

方案以不间断采集、超标联锁、全程留档为核心，把洁净环境从人工巡检升级为连续闭环监控。

• 感知层：洁净区多点布置温湿度、压差、尘埃粒子、气体纯度传感器，不间断采集。
• 控制层：环境参数超标即联锁空调净化系统及时纠偏，维持洁净度与压差稳定。
• 应用层：监测看板实时展示各区域环境状态，异常分级告警直达值班与品控。
• 追溯层：全周期环境数据自动归档，形成可追溯的品控记录，支撑审厂与质量复盘。